真空科学与技术学报期刊年发文量：:2017年209篇，2018年184篇，2019年197篇，2020年217篇，2021年178篇，2022年140篇，2023年133篇，2024年132篇，2025年134篇，2026年11篇

期刊历年基金文献和总文献占比：2017年66.03%，2018年74.46%，2019年61.42%，2020年70.51%，2021年68.54%，2022年74.29%，2023年74.44%，2024年85.61%，2025年82.09%，2026年90.91%

文献所在栏目：研究论文真空技术与理论等离子体技术电子器件研究快报结构薄膜其他功能薄膜综述评述工艺设备纳米技术真空冶炼太阳能利用技术技术交流原子级制造专题其它MBE/MOCVD专题真空微纳电子与器件专题综述评述_专题：低温纳米生物技术科普专栏

杂志文献学科分布：工业通用技术及设备, 金属学及金属工艺, 材料科学, 无线电电子学, 物理学, 电力工业, 航空航天科学与工程, 无机化工, 核科学技术, 动力工程, 自动化技术, 化学, 机械工业, 仪器仪表工业, 有机化工, 冶金工业, 轻工业手工业, 汽车工业, 建筑科学与工程, 电信技术

杂志关键词分布：数值模拟,磁控溅射,微观组织,等离子体,力学性能,真空,介质阻挡放电,电子密度,硬度,激光熔覆,化学气相沉积,行波管,微观结构,耐磨性,薄膜,真空断路器,微弧氧化,有限元分析,摩擦性能,钛合金

真空科学与技术学报杂志影响因子走势：1.19,0.88,0.87,0.75,0.52,0.38,0.33,0.44,0.56,0.53,